5月18日盘后数据显示，刻蚀机概念报涨，芯源微（275.8，10.79，4.07%）领涨，中金公司(44.86，1.15，2.63%)、中微公司(163.87，0.42，0.26%)、北方华创(301.24，0.48，0.16%)等跟涨。
相关刻蚀机概念股有：
1、芯源微：沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。
2、中金公司：全球刻蚀机细分龙头。
3、中微公司：半导体刻蚀机龙头，面向全球的高端半导体微观加工设备公司。
4、北方华创：产品线最全（刻蚀机，薄膜沉积设备等）的半导体设备公司。
