2023年6月6日,长三角集成电路产业合作对接会在安徽合肥举行。作为国产离子注入机产业化领先供应商,上海凯世通半导体股份有限公司(简称“凯世通”)与参加对接会合作伙伴共同探讨合作机会。凯世通市场销售副总经理张长勇就“国产离子注入机产业化发展”发表主题演讲,展示凯世通高端系列离子注入机产业化历程和未来发展规划。

凯世通亮相集成电路产业对接会 国产离子注入机产业化谱“芯”篇

凯世通发表主题演讲“国产离子注入机产业化发展”

2022年起,凯世通已取得多家12英寸集成电路制造厂主流客户的离子注入机采购订单,累计设备订单超8.5亿元。凯世通在国内高端离子注入机产业化领域保持全面领先地位。目前,公司研发的28nm工艺节点的低能大束流、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机均已成功实现商业化,持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化进程。凭借其广受市场认可的科技“硬”实力,凯世通为推动集成电路设备领域的国产化做出了重要贡献。

在交流环节中,有晶圆厂客户表示:“装备国产化是大势所趋,将给予凯世通更多支持,共同推动双方合作。”

与此同时,凯世通表示将持续做好CIP工作,持续提升产业化能力,以自身的高端离子注入机系列产品的产业化实践经验助力芯片制造厂商量产与提升。

关于凯世通公司:

凯世通是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业,凭借强劲发展势能,正在成长为国产第一梯队核心设备厂商。目前,凯世通产品已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向,是国内首家集成电路低能大束流离子注入机和高能离子注入机获得验证验收的设备企业,拥有高能离子注入、超低温离子注入设备等核心关键机型。