光刻机上市公司龙头股有：

大族激光（002008）：光刻机龙头股，2022年第三季度显示，大族激光公司实现营业收入36.25亿元，净利润2.11亿元，每股收益0.36元，市盈率14.2。

2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。

近5个交易日股价上涨1.58%，最高价为29.07元，总市值上涨了4.73亿，当前市值为298.79亿元。

华特气体（688268）：光刻机龙头股，华特气体公司2022年第三季度营收约5.19亿元，同比增长49.4%；净利润约6689.4万元，同比增长82.7%；基本每股收益0.56元。

在近5个交易日中，华特气体有3天上涨，期间整体上涨1.22%。和5个交易日前相比，华特气体的市值上涨了1.19亿元，上涨了1.22%。

光刻机概念股其他的还有：

智光电气：2月6日消息，智光电气5日内股价上涨0.33%，最新报9.180元，成交量1150.6万手，总市值为72.32亿元。

永太科技：2月6日消息，永太科技5日内股价下跌2.44%，该股最新报23.800元跌0.87%，成交2.35亿元，换手率1.46%。

奥普光电：2月6日讯息，奥普光电3日内股价上涨0.27%，市值为62.4亿元，涨0.58%，最新报26.000元。

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